如何设计高纯氮气输送管道？要注意哪些方面的问题？

一般在电子行业中，对气体纯度、干燥度、颗粒等都有较高的技术要求。例如PSA制氮机现场一步制出的99.99%纯度的氮气，在大规模集成电路制程中仍然需要进一步纯化，甚至在使用末端还需要高效气体过滤器进行终端过滤，才能满足工艺使用要求。

在高纯、超高纯氮气的输送中，对输送管网也要针对性设计。管网应使气体纯化装置尽量靠近使用。管道应尽量减少支管、盲管和避免出现U形，以免用高纯氮气吹扫时造成盲路和短路，只依赖扩散置换，不易彻底清除杂质而成为污染源。

高纯氮气输送管道在停止通气时，应能用阀门密闭，防止受到大气污染。