制氮机氮气高效过滤器的设计导则

为了满足高纯氮气在大规模集成电路制程工艺的洁净度要求，制氮机高效过滤器的过滤效率，应高于99.99%（指过滤尘埃粒径≥0.5微米者），即原料气中含尘量为10000颗/升时，通过气体高效过滤后，含尘量可降至1颗/升以下。如果原料气中含尘较大，为了减轻高效过滤器的负担，气体应先经过粗效或中效过滤器，而将气体高效过滤器用于终端过滤，为此高效过滤器也可称为气体终端过滤器。

过滤器在额定气体处理量中工作时，初阻力宜小于50毫米水柱。为了使气体高效过滤器能在一定气体压力下工作，可以提高滤料本身的强度和滤料安装的型式或采用多孔金属支撑体等方法。

过滤器壳体应有良好的气密性，滤料与壳体之间亦需密封良好。过滤器壳体的材料，应选用在大气中不发生氧化和没有表面剥落现象的材料；以免污染高纯氮气。

滤料的使用寿命受容尘量的限制。因此，过滤器使用半年到一年后，一般就需要更换滤料。故在結构设计上应考虑到便于更换滤料。