为什么高纯气体纯度一般使用微量氧含量来表述？

在制氮机、制氢设备中，一般都是分析微量氧的含量，来表示所制备的气体纯度。氮气是一种惰性气体，单纯测量的难度很大。氢气的还原性强，在高浓度环境中，测量准确率低。

微量氧的测定方法：氧是产生氧化的直接原因是导致器件性能退化、寿命缩短的重要因素之一，在超大規模集成电路生产中，所用的还原性气体和稀释气中氧含量应控制在10^-7以下。测定高纯气体中的微量氧除色谱法和质谱法外，还有电化学法、铜氨比色法。

1. 电化学法测定微量氧：采取浓缩色谱法测定氢和氮中的痕量杂质氧，可以测到5×10^-9，但不能用浓缩色谱法测定氮和氢中的微量氧。采用电化学法测定氢和氮中的痕量氧是具有高灵敏度的一种方法。

2. 原电池测定氧的原理：池对氧敏感性强，当含微量氧的分析气体通过银-铅电池时，会在电池中发生电化学反应，氧在银电极上还原出OH^-离子并从外电路取得电子；铅电极 被KOH溶掖腐蚀，生成物为KHPbO₂，同时向外电路输出电子。外电路接通后会有电流流过，电流大小是随着氧的多少而变化，气体中微量氧能引起电流的变化，据原电池电流大小，就能知道分析气体中的含氧量。其电化学反应如下。

阳饭：g(O)     O₂+2H₂O+4e→4OH^-

阴极：Pb        2Pb+2KOH-4e→2KHPbO₂+2H₂O

这种方法只能用于不与KOH起反应的气体，例如对N₂、H₂、Ar等气体中O2的分析，最小可测到0.3×10^-6。目前，国内外微量氧仪一般采用原电池法，并且产品种类非常多。