纯水在微电子行业化学清洗中有哪些作用？

由纯水设备制成的高纯水可充当与杂质产生化学反应的介质，即可达到溶除杂质的目的。微电子行业中，清洗所用的各种有机溶剂和酸等也不是最纯的，它们对被清洗的硅片等物质也有沾污。由于纯水的纯度是最高的，因此最后一道清洗工序是用纯水来完成的。一般来说温度越高，物质的溶解度越大，因此热纯水的清洗效果更好，必要时可用热纯水冲洗。

科学实验证明：在一定纯水用量条件下，冲洗次数越多，每次清洗后被清洗表面剩余液的量越少，清洗的效果也越好。但是在每次清洗后，保持一量的剩余液是必要的，以避免表面直接暴露在空气中而受沾污和氧化。

另外，还利用纯水的搅拌、振荡、冲刷等使附着在表面的那部分灰尘去除。