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如何使用膜脱气水处理设备除氧?

作者:www.actfil.net来源:弘益净化 浏览次数: 日期:2014-11-06 15:56:47

在高纯水中一般均采用真空脱氧,放在水处理设备的前面,这样不仅除氧效果不好,而且不能保证前面脱氧后,在终端出水时保持低的溶解氧水平。水中溶解氧高会在接触硅片时表面生成一层无定形硅,影响器件材料的性能,因此对ULSI用水中氧的含量要求小于50μg/L,采用膜交换器脱氧,能使水中溶解氧做到小于15μg/L或小于1μg/L,同时还能脱除水中游离的二氧化碳。

膜交换器脱氧简单原理为:气相[O2]=液相[O2]

当气-液达到平衡时,平衡常数为:K=PO2/[O2]

若设法抽气或用N2气通气吹扫,或两者组合,使气相中的氧分压 (PO2)下降,上式左移,液相中氧的浓度 [O2]下降,达到新的平衡,使水中的氧脱除。根据水流量的大小,可采用平行并联配置膜交换器;若考虑脱氧效率则采用串联配置。

该资讯的关键词为:水处理设备